A method for manfacturing a menbrane in a surface of a (100) silicum wafer

WJ Venstra (Inventor)

Research output: Patent

Original languageUndefined/Unknown
Patent numberNL1022995C
IPCniet eerder opgenomen
Priority date22/09/04
Publication statusPublished - 2005

Bibliographical note

niet eerder opgenomen

Keywords

  • Geen BTA classificatie

Cite this