Defecten in molybdeen-lagen en de effecten van ionenbundel-assistentie tijdens het opdampen.

BA Korevaar, CJ Pols, J van der Kuur, BJ Thijsse

Research output: Contribution to journal › Article › Professional

Cite this

@article{f995aafbd8434e9cacab234c452bf577,

title = "Defecten in molybdeen-lagen en de effecten van ionenbundel-assistentie tijdens het opdampen.",

author = "BA Korevaar and CJ Pols and {van der Kuur}, J and BJ Thijsse",

year = "1998",

language = "Undefined/Unknown",

volume = "36",

pages = "3--10",

journal = "NEVAC Blad",

issn = "0169-9431",

number = "1",

}