Gecontroleerde modificatie van kleine gaten met nanometer precisie gebruikmakend van een elektronenbundel

AJ Storm (Inventor)

    Research output: Patent

    Original languageUndefined/Unknown
    Patent numberPCT/NL2004/000166
    IPCaanvrager: TU Delft OCT-03-004
    Priority date10/06/04
    Publication statusPublished - 2004

    Keywords

    • Octrooi

    Cite this