In situ Messmethode zum Monitoren der Qualitat optischer Oberflachen wahrend des Polierens auf der Maschine und Ihre Anwendung zum Klassifizieren von Polierprozessen

OW Faehnle; T Wons; E Koch; S. Debruyne-Fisba; SM Booij; M Meeder; H van Brug; JJM Braat

In situ Messmethode zum Monitoren der Qualitat optischer Oberflachen wahrend des Polierens auf der Maschine und Ihre Anwendung zum Klassifizieren von Polierprozessen

OW Faehnle, T Wons, E Koch, S. Debruyne-Fisba, SM Booij, M Meeder, H van Brug, JJM Braat

ImPhys/Optics

Research output: Chapter in Book/Conference proceedings/Edited volume › Chapter › Scientific › peer-review

Original language	Undefined/Unknown
Title of host publication	Jahrbuch fur Optik und Feinmechanik 2002
Editors	D Wolf
Pages	103-113
Publication status	Published - 2002

Bibliographical note

47e Jahrgang

Keywords

Boekdeel internat.wet

Cite this

@inbook{65a0c9988bdb461fb7e2dfcf046a4b05,

title = "In situ Messmethode zum Monitoren der Qualitat optischer Oberflachen wahrend des Polierens auf der Maschine und Ihre Anwendung zum Klassifizieren von Polierprozessen",

keywords = "Boekdeel internat.wet",

author = "OW Faehnle and T Wons and E Koch and S. Debruyne-Fisba and SM Booij and M Meeder and {van Brug}, H and JJM Braat",

note = "47e Jahrgang",

year = "2002",

language = "Undefined/Unknown",

isbn = "3794906632",

pages = "103--113",

editor = "D Wolf",

booktitle = "Jahrbuch fur Optik und Feinmechanik 2002",

}

In situ Messmethode zum Monitoren der Qualitat optischer Oberflachen wahrend des Polierens auf der Maschine und Ihre Anwendung zum Klassifizieren von Polierprozessen. / Faehnle, OW; Wons, T; Koch, E et al.
Jahrbuch fur Optik und Feinmechanik 2002. ed. / D Wolf. 2002. p. 103-113.

Research output: Chapter in Book/Conference proceedings/Edited volume › Chapter › Scientific › peer-review

TY - CHAP

T1 - In situ Messmethode zum Monitoren der Qualitat optischer Oberflachen wahrend des Polierens auf der Maschine und Ihre Anwendung zum Klassifizieren von Polierprozessen

AU - Faehnle, OW

AU - Wons, T

AU - Koch, E

AU - Debruyne-Fisba, S.

AU - Booij, SM

AU - Meeder, M

AU - van Brug, H

AU - Braat, JJM

N1 - 47e Jahrgang

PY - 2002

Y1 - 2002

KW - Boekdeel internat.wet

M3 - Chapter

SN - 3794906632

SP - 103

EP - 113

BT - Jahrbuch fur Optik und Feinmechanik 2002

A2 - Wolf, D

ER -