In situ Messmethode zum Monitoren der Qualitat optischer Oberflachen wahrend des Polierens auf der Maschine und Ihre Anwendung zum Klassifizieren von Polierprozessen

OW Faehnle, T Wons, E Koch, S. Debruyne-Fisba, SM Booij, M Meeder, H van Brug, JJM Braat

Research output: Chapter in Book/Conference proceedings/Edited volumeChapterScientificpeer-review

Original languageUndefined/Unknown
Title of host publicationJahrbuch fur Optik und Feinmechanik 2002
EditorsD Wolf
Pages103-113
Publication statusPublished - 2002

Keywords

  • Boekdeel internat.wet

Cite this