Interferometer for extreme-UV Lithograpgy mirrors aims for 0.1-nm accuracy

ML Krieg

Research output: Contribution to journal › Article › Scientific

niet eerder opgenomen en niet eerder opgehonoreerd

Keywords

@article{6057012c4f34411c88fdbeae238fd6b5,

title = "Interferometer for extreme-UV Lithograpgy mirrors aims for 0.1-nm accuracy",

keywords = "professional journal papers, Geen BTA classificatie",

author = "ML Krieg",

note = "niet eerder opgenomen en niet eerder opgehonoreerd",

year = "2005",

language = "Undefined/Unknown",

volume = "Feb/March",

pages = "68--68",

journal = "EuroPhonics",

issn = "1091-6083",

}